Ýarymgeçiriji plastinkalaryň, takyk optiki linzalaryň we örtülen bölekleriň ýüzüniň nagyşlygyny, basgançak beýikligini we inçe plýonkanyň galyňlygyny barlamak önümçilik öndürijiligini gönüden-göni kesgitleýär. Adaty kontakt zond skanirlemesi inçe nusgalary aňsatlyk bilen dyrnaýar, adaty optiki ölçeg enjamlary bolsa nano derejeli takyklygy üpjün edip bilmeýär. Şol bir wagtyň özünde zyýansyz synagy, örän ýokary nano takyklygy we ýokary öndürijilikli köpçülikleýin önümçilik barlagyny nädip gazanmaly?
Tolkun uzynlygy OE-niň täze senagat ak ýagtylyk interferometri iki interferometriýa ölçeg režimlerine eýedir. Kontaktsyz anyklaýyş bilen, ol laboratoriýa ylmy-barlag we işläp taýýarlama işlerinden başlap, onlaýn önümçilik hil gözegçiligine çenli ähli iş akymyny öz içine alýar.
Ähli ýerüsti topografiýa üçin iki ýadroly interferometriýa režimleri
Bir režimli ölçeg enjamlaryndan tapawutlylykda, bu ulgam VSI (Wertical Scanning Interferometry) we PSI (Faza Geçiş Interferometry) algoritmlerini birleşdirip, bir enjam bilen iki esasy ölçeg talabyny kanagatlandyrýar.
| Deňeşdirme zady | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Esasy ulanylýan ýüzler | Gödek ýüzler, basgançaklar, üznüksiz we çylşyrymly topografiýalar | Ultra tekiz, üznüksiz we aýna ýüzleri |
| Dik beýiklik ölçeg aralygy | Giň diapazon; çuň oýuklary we ýokary basgançaklary ölçäp bilýär | Dar aralyk; aýratyn uly basgançaklar üçin laýyk däl |
| Dik çözgüt | Nanometr derejesi; optimizirlenen algoritmler bilen gazanyp bolýan subnanometr derejesi | Iň ýokary çözgüt; nanometrden aşak, hatda angstromdan aşak derejä çenli gaýtalanmagy mümkin |
| Ýüziň gödekligine çydamlylyk | Ýokary | Pes |
| Faza ikiýüzlüligi | Tas diýen ýaly ýok; absolýut beýiklik gymmatynyň çykyşy elýeterlidir | 2π faza saralama ýalňyşlygyna bagly |
| Tizligi ölçemek | Eksenel skanirleme talap edýär, deňeşdirme boýunça haýal | Umuman has çalt |
| Titreşmä garşylygy | Skanirleme wagtynda titreme duýgur | Köp kadrly faza geçişi, titremelere has duýgur |
| Tipik ulanylyşlar | Gyrymsylyk, basgançak beýikligi, mikrostrukturalar, işlenen ýüzler | Ultra tekiz ýüziň gödekligini, ýüz şekilini we tekizligini synagdan geçirmek |
PSI (Faza üýtgeýän interferometriýa): Mikroskopiki taýdan iň ýokary çözgüt berýän nano ölçegli kiçijik beýiklik aýratynlyklaryna we ultra inçe plýonkalara ýöriteleşen.
Tekiz Aýna
Egri Aýna (Gapak Aýna)
Fotolitografik nusganyň nusgasy
VSI Dik Skanirleme Interferometriýasy: Uly beýiklik üýtgemeleri we beýik basgançaklary bolan iş bölekleri üçin optimizirlenen; segmentleşdirilen skanirlemesiz doly ölçeg diapazony elýeterlidir.
Öňdebaryjy gaplanan waferlerde tegelek mikro bumps massiwi
Öňdebaryjy gaplanan waferlerde elliptik mikro bumps massiwi
mikrolinzalar toplumy
450–700 nm gysga kogerent ak yşyk çeşmesi bilen utgaşdyrylan bu enjam köp sanly şöhlelenmelerden gelip çykýan daşary yşyklary netijeli basyp bilýär we güýçli päsgelçiliklere garşy göreş işini üpjün edýär. Köp gatlakly örtükler bilen enjamlaşdyrylan bu pes şöhlelenme ukyby bolan optiki bölek durnukly we aýdyň päsgelçilik signallaryny çykaryp, hakyky we ygtybarly ölçeg netijelerini berip bilýär.
2. Pudagyň öňdebaryjy nano derejeli tehniki häsiýetnamalary, yzarlap bolýan we durnukly uzak möhletli maglumatlar
-Ulgam, global premium standartlaryna laýyk gelýän ýokary derejeli esasy öndürijilik parametrleri bilen enjamlaşdyrylan, merkezi tolkun uzynlygy 550 nm bolan LED ak yşyk çeşmesini ulanýar.
-Dik çözgüt: <1 nm, gaýtalanýan ölçeg ýalňyşlygy: <10 nm, hakyky nanometr takyklygy
-Maksimum dik ölçeg aralygy: 500 μm, ýokary-pes mikrostrukturalar üçin gaýtalanýan ýerleşdiriş talap edilmeýär.
-Skanirleme tizligi: 100 μm/s, bir gezek doly skanirleme 10 sekuntda tamamlanýar, takyklygy we barlag geçirijiligini deňleşdirýär.
-NIST yzarlap bolýan standartlaryna laýyk gelýän, gurlan awtomatiki kalibrleme algoritmi ýarymgeçiriji we optiki senagatlar üçin berk QC standartlaryna laýyk gelýän yzygiderli yzarlap bolýan toplu maglumatlary üpjün edýär.
| Haryt | Parametr |
| Kuwwaty ölçemek | 3D ýüz topografiýasy, ýüziň tekizligi, basgançak beýikligi we şöhlelendiriji materiallaryň we optiki komponentleriň plýonka galyňlygy |
| Maglumatlary toplamak režimi | Dik Skanirleme Interferometriýasy (VSI) + Faza Geçiş Interferometriýasy (PSI) |
| Kalibrleme ulgamy | NIST yzarlap bolýan standart + awtomatiki kalibrleme algoritmi |
| Dik ölçeg aralygy | 500 μm |
| Görüş meýdany | 20× obýektiw: 0.87 × 0.65 mm |
| Kameranyň işleýşi | Maksimum çözgüt: 2048 × 2448; Kadr tizligi: 74 kadr/s; Bit çuňlugy: 12 bit |
| Skanirleme tizligi | 100 μm/s (Takyklyk režimi) |
| Obýektiw linzanyň opsiýalary | Konfigurirlenip bolýan 20x / 50x ulaldyş maksatlary |
| Gurnama dizaýny | Içinde işjeň wibrasiýa izolýasiýa platformasy, gorizontal we dik oturtma elýeterli |
| Umumy ölçeg (Uzynlyk × E × Boýy) | 120 × 80 × 65 sm |
| Net agramy | ≤58 kg |
3. Senagat integrasiýalaşdyrylan şkaf dizaýny, laboratoriýa we önümçilik liniýasy bilen utgaşykly
Çeýe gurnama utgaşyklylygy bilen köpçülikleýin önümçilik ussahanalary we ylmy-barlag laboratoriýalary üçin optimizirlenen.
Içinde işjeň wibrasiýa izolýasiýa platformasy: Zawod wibrasiýasynda durnukly ölçeg, goşmaça wibrasiýa izolýasiýa stoluna zerurlyk ýok.
Iki gat gurnama gurluşy: Gorizontal ýa-da dik gurnama, awtomatlaşdyrylan önümçilik liniýalary we laboratoriýa iş stansiýalary bilen aňsat integrasiýa.
Kompakt, hemme zady öz içine alýan göwre: Ölçegi 120 × 80 × 65 sm, agramy ≤58 kg bolan kiçi meýdan, ýerinde ýerleşdirmek aňsat.
Tutuş ulgam ýagtylyk çeşmesini, interferometriň esasy blokuny we dolandyryş modulyny öz içine alýar. Gaplamadan çykandan soň birikdirip bolýar, çylşyrymly optiki ýoly sazlamak talap edilmeýär.
Ýokary takyklykly önümçilik üçin giň ulanyş çägi
Ýarymgeçirijiler senagaty: Kremniý plitalarynyň we mikro-nano çipleriniň 3D topografiýasy we basgançak beýikligini barlamak.
Takyk optika: Optiki linzalar, obýektiwler we örtülen optiki elementler üçin gödeklik we plýonka galyňlygyny synagdan geçirmek.
Täze funksional örtükler: Şöhlelendiriji örtükleriň we funksional inçe plýonkalaryň ýüz profiliniň we galyňlygynyň seljermesi.
Ylmy barlag laboratoriýalary: Mikro-nano gurluşynyň häsiýetnamasy we komponentleriň morfologiýasynyň takyk synagy.
Optiki ylmy-barlag we işläp düzmekde köp ýyllyk professional tejribesi bilen, “Wavelength OE” ak ýagtylyk interferometrleri üçin ähli esasy optiki ýollary we ölçeg algoritmlerini özbaşdak işläp düzýär. Yşyk çeşmelerinden, obýektiw linzalardan başlap, kalibrleme ulgamlaryna çenli doly tehniki gözegçilik. Her bir enjam eltip bermezden öň köp tapgyrly takyklyk kalibrlemesinden geçýär. Biz doly satuwdan soňky tehniki goldawy berýäris we müşderiniň iş böleginiň ölçegine we awtomatiki önümçilik liniýasynyň talaplaryna esaslanyp, eksklýuziw ölçeg çözgütlerini özleşdirýäris.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 15-nji iýuly